仪器型号：ESCALABXi+
设备简介：
X射线光电子能谱仪是一种固态材料表面元素组成和化学形态研究不可或缺的表面分析仪器。ESCALABXi+配备了单色化XPS、微区XPS、平行成像XPS、离子散射谱ISS、反射电子能量损失谱REELS、ARXPS角分辨分析等功能模块，属于XPS分析的高端设备。
技术指标：
单色化Al靶X射线源，分析尺寸范围：15~900μm,15档规格可选
能量扫描范围：0~1500eV；通能范围：1~400eV
3. 常规能量分辨率和灵敏度： 0.45eV@180kcps，1.00eV@4Mcps
4. 微区分析（20μm）能量分辨率和灵敏度：0.6eV@4kcps
5. 荷电中和能量分辨率和灵敏度：0.68eV@20kcps,0.82eV@60kcps
6. ISS能量分辨率和灵敏度：12eV@25000cps/nA
7. REELS能量分辨率和灵敏度：0.5eV@1000kcps
主要功能：
该设备主要用于各种材料的表面元素组成、元素化学价态及深度分布分析、光电子谱的空间成像分析、角分辨无损测厚、含氢材料的氢元素定性定量分析、半导体材料的带隙分析。
应用领域：
在金属、无机材料、催化剂、聚合物、涂层材料、矿石等各种材料的研究以及合成、催化、腐蚀、摩擦、润滑、包覆、氧化等过程研究领域具有广泛应用。
管理员：刘西艳
联系方式：021-39194080
邮箱：liuxiyan@sinap.ac.cn
