激光共聚焦显微镜恢复使用通知

上海应用物理研究所公共技术中心的激光共聚焦显微镜于近期完成维修，面向所内外用户重新开放运行。

设备型号：

奥林巴斯，OLS4100

设备主要功能：

高分辨三维光学成像及表面轮廓、表面曲率测量、表面粗糙度测量。设备配有电动载物台，具有自动对焦、自动拼图功能，可进行高清晰度大范围立体成像，适合于材料表面微孔、弧形样品表面形貌、失效样品断面、辐照后材料表面、摩擦磨损后材料表面、腐蚀或熔盐冲蚀后表面轮廓三维成像和粗糙度分析。

设备主要技术指标：

（1）配有405 nm半导体激光光源，总倍率范围108×～17280×；

（2）平面分辨率：0.12μm；重复性：0.02μm；正确性：测量值的±2%；

（3）高度分辨率：10nm；重复性：0.012μm；正确性：0.2＋L/100μm以下（L＝测量长度μm）；

（4）物镜：明视场平面半消色差透镜5×、10×；LEXT专用平面复消色差透镜20×、50×、100×；

（5）Z 对焦部分行程：100mm；XY方向行程：100×100mm。

收费标准：

300元/小时。

联系人：

汪雪，13788925665，wangxue@sinap.ac.cn。