X射线荧光(XRF)微区镀层测厚仪

2012/12/10 | 【 【打印】【关闭】

项目或成果
简介

当一束激励X射线照射到样品上,镀层和基底中的元素都放射出特征荧光X射线(XRF)。镀层荧光X射线的强度随镀层厚度而增加;基底荧光X射线的强度随镀层厚度而降低。根据这类关系,测定荧光X射线的强度,便可以计算出镀层的厚度。普通XRF仪器的照射区域比较大,不适用于精微细小、形状复杂的样品。微区XRF仪器将微束X射线集中照射在很小的区域内(专利ZL 94 1 12117.8),采用激光定位技术(专利ZL 97 2 35392.5),能方便地选择样品上任意部位进行精确测量。

负责人

朱节清

联系电话

59554657

Email

zhujieqing@sinap.ac.cn

项目或成果
应用前景

XRF微区镀层测厚仪的国内市场需求量每年约300台,(以每台20万计算,每年需求额约6000万元),绝大部分来自三家外国公司(美国CMI公司,德国Fischer公司和日本精工舍公司)。中国科学院上海应用物理研究所凝聚其30多年从事X射线荧光(XRF)技术研究的经验,结合其近年来在微区分析领域取得的成果,于1994年研制成功XRF系列微区镀层测厚仪,受到用户好评。这项研究成果的目标是在镀层质量检验中,用我国高新科学技术,取代昂贵的进口仪器。该项产品已通过国家技术监督局鉴定,性能指标达到进口仪器的水平,它的价格只有进口仪器的几分之一,是一种比较先进而实用的质量检验仪器,适合于电子元件,精密机械,钟表眼镜,制笔工艺,珠宝首饰及其它电镀行业推广使用。

技术(成果)成熟度

目前,我们已经开发出XRF300,XRF500和XRF900三种适合不同大小被测件的仪器,它们能够测量的品种和精度都达到进口仪器的水平。由于测量自动化程度、仪器结构包装和市场营销等因素不如进口仪器,现在的年销量约25台,少于国内市场的10%。

拟合作方式

我们愿意联合相关的仪器制造公司共同开展研究,提升仪器的测量自动化程度,改善仪器制造工艺,改进仪器外观包装,加强市场营销力量,大力开拓国内市场,在条件成熟时将产品推销到国外市场。


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